中国科学院院士微电子技术专家李志坚逝世

李志坚院士

李志坚院士作为清华大学微电子所的创建人，作为微电子所最早的博士生导师，多年来培养了1批如今活跃在国内外微电子行业中的专家和学者。他指点的博士生邹泉波的论文获『首届全国优秀博士论文』，博士生马玉涛的论文获2003年『全国优秀博士论文』。李志坚院士不顾年事已高，不但对自己所培养的研究生事必亲躬，而且对微电子所的教学工作也给予了仔细关注。李院士一直深受师生爱戴，因他在教学工作中突出贡献，取得了2003年度清华大学『教书育人奖』。

李志坚院士510年代进行了薄膜电导和光电导机理的研究，提出了多晶膜晶粒间电子势垒模型。6、710年代，对中国初期硅器件技术的发展作出了重要贡献，810 年代，领导研制出硅栅N沟1K、4K静态RAM和8位、16位微处理器等电路。910年代领导建成我国首条１微米工艺线并研制出１兆位汉字ROM等1批超大 范围集成电路（VLSI），这些成果代表了当时我国集成电路技术的先进水平。李院士提倡并参加发明的超大范围集成电路快速热处理技术与装置获中国和美国专 利3项，他主持的国家重大科学基金项目系统集成基础技术研究获得了1批国际一流成果，曾取得国家发明2等奖和国家科技进步2等奖各1次，部委级科技进 步1、2等奖各2次。李院士主编出版了《半导体材料硅》、《MOS大范围集成技术》、《微电子技术中的MOS物理》等书，在国内外发表了论文200余篇。

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